LINTEC琳得科质量流量传感器 MC-5000C 半导体工艺用高性能质量流量控制器 EtherCAT通信版。符合SEMI标准，可用于半导体制造设备的输送系统中，通过EtherCAT通信实现高速化控制。

LINTEC琳得科质量流量传感器 MC-7000 通过热敏传感器实现100毫秒（典型值）的高速流量控制。凭借非接触式热式流量传感器和压电控制阀，可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。

LINTEC琳得科热交换器 HX-0300C 最大流量300SLM 最高使用温度250摄氏度

LINTEC琳得科热交换器 HX-0100C 最大流量100SLM（N2換算）。最高使用温度300摄氏度。真空或者加压时都可以使用

LINTEC琳得科热交换器 HX-0051H 可将N2气体20SLM加热至300摄氏度。高温气体加热非常适合固体升华和液体气化供应的载气加热。