RIX瑞顾克斯半导体用旋转接头 MFES 可以真空·干空气·纯水·研磨液等复数流体同时流动。通常应用于CMP设备

RIX瑞顾克斯半导体用旋转接头 L40 晶圆清洗时为旋转刷提供纯水或清洗液时使用。或者、精磨、粗磨等各种装置的晶圆真空夹紧时使用。氟化树脂的构造、流路中没有金属粒子溶出隐患。还有使用了强化研磨粉或研磨液吸入现象的陶瓷密封面。应用端设备对象：精磨/粗磨、晶圆清洗装置、高速旋转托盘、CMP装置